Journal of Micro/Nanopatterning, Materials, and Metrology (JM3) （或：JOURNAL OF MICRO-NANOPATTERNING MATERIALS AND METROLOGY-JM3）《微/纳米图案化，材料与计量学期刊》（原：Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS）

季刊 - 美国

Journal of Micro/Nanopatterning, Materials, and Metrology (JM3) （或：JOURNAL OF MICRO-NANOPATTERNING MATERIALS AND METROLOGY-JM3）《微/纳米图案化，材料与计量学期刊》（原：Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS）

期刊属性

中科分区：3区

OA期刊：混合

综述期刊：否

TOP期刊：否

期均国文：2

环比增速：100.00%

投稿方式--官网投稿
研究方向：MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY；OPTICS；ENGINEERING, ELECTRICAL ELECTRONIC；NANOSCIENCE NANOTECHNOLOGY

国际刊号：ISSN 1932-5150；EISSN 2708-8340

期刊语言：英语

出版地区：美国

投稿网址：https://jm3.msubmit.net/

电子邮箱：

期刊官网：https://www.spiedigitallibrary.org/journals/journal-of-micro-nanopatterning-materials-and-metrology

作者指南：

出版商网址：http://www.spie.org

出版地址：SPIE-SOC PHOTO-OPTICAL INSTRUMENTATION ENGINEERS , 1000 20TH ST, PO BOX 10, BELLINGHAM, USA, WA, 98225

期刊简介：Journal of Micro/Nanopatterning, Materials, and Metrology (JM3)《微/纳米图案化，材料与计量学期刊》（季刊）. The Journal of Micro/Nanopatterning, Materials, and Metrology (JM3) publishes peer-reviewed papers on the core enabling technologies that address the patterning needs of the electronics industry. Formerly the Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS, the journal’s key subject areas include the science, development, and practice of lithographic, computational, etch, and integration technologies. In this context the electronics industry includes but is not limited to integrated circuits and multichip modules, and advanced packaging with features in the submicron regime.

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1、投稿方式：在线投稿。

2、期刊网址：

https://www.spiedigitallibrary.org/journals/journal-of-micro-nanopatterning-materials-and-metrology

3、投稿网址：https://jm3.msubmit.net/

4、官网邮箱：jm3@spie.org（编辑部）

5、官网电话：360-676-3290（编辑部）

6、期刊刊期：季刊，逢季首月出版。

7、期刊更名：自2021年期刊Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS更名为Journal of Micro/Nanopatterning, Materials, and Metrology (JM3)。

2022年9月16日星期五

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